近年來臭氧用于潔凈室的消毒已經很普遍，也有臭氧機生產企業推薦將臭氧用于凍干機滅菌，但未見有成功的報道。臭氧不用于凍干機滅菌原因如下：

①中國藥典（2010版）將臭氧列為氣體滅菌方法之一，但未指明驗證用生物指示劑，目前市面上未見臭氧用的生物指示劑出售。不能用法規方法進行驗證的工藝當然不能采用。

②目前上市的臭氧機的工作原理注定臭氧在凍干機內濃度及分布的均勻性不好。

③許多報道認為：臭氧對各種微生物的殺滅效果不一，對霉菌的殺滅效果比對雜菌的效果好，臭氧在低濃度下對細菌的殺滅作用不大，因為細菌在低濃度臭氧作用下暴露一定時間，會產生抗體。在較高濃度時，對橡膠、塑料等高分子材料。

④一些企業進行了將臭氧應用于工衣、鋁塑蓋滅菌的試驗，從無菌培養的情況來看，臭氧只能起到消毒作用，根本不能達到滅菌效果。

⑤用空氣作原料來生產臭氧時，會產生少量的氮氧化合物，對凍干機有較大腐蝕性。

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